近日，工业和信息化部公布首批工业和信息化部重点培育中试平台名单。

松山湖材料实验室、广东微纳加工与器件制备中试平台、东莞材料基因高等理工研究院、东莞新材料与智能制造共性技术中试平台成功入选，标志着松山湖在科技成果转化领域的创新能力再获国家级认可。

来自松山湖材料实验室的广东微纳加工与器件制备中试平台，聚焦微纳加工技术前沿及泛半导体材料与器件的产业发展趋势，积极布局先进化合物半导体、微电子、光电子、MEMS传感器、异质异构混合集成关键技术、微纳光学等领域，以满足电子信息、未来显示、人工智能、汽车电子、智能装备、工业自动化等产业发展对泛半导体材料、芯片及先进微纳制造技术的需求。

截至2024年底，该平台已累计投入超5亿元，配置各类半导体材料与芯片微纳加工、检测设备约200台套，建设超净实验室及配套设施约3000平方米，已初步建成集泛半导体材料制备、器件工艺制备及特色工艺开发为一体的综合性研发中试平台，并获批认定广东省半导体材料与器件异质集成工程技术研究中心，通过ISO9001质量管理体系再认证。

平台设备总体选型满足加工线宽从百微米到十纳米量级全尺寸覆盖、加工晶圆尺寸从8英寸→6英寸→4英寸→2英寸→小片的全尺寸兼容，实现了从微米到纳米级别的可控加工与测试，并可为用户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案，是华南地区首个完全对外开放服务的8寸向下兼容的泛半导体微纳制造综合性研发与中试平台。

中试是贯通松山湖材料实验室研究与产业化生产的“黄金纽带”，此次平台的成功入选，可有效推动产业链和创新链深度融合，打造“产-学-研-用”协同创新模式，加速创新成果向产业应用的快速转化。

东莞材料基因高等理工研究院（CEAM）自成立以来，始终聚焦新材料与先进制造领域的关键共性技术，致力于打造集“研发—检测—试生产—企业孵化—行业引领”于一体的中试能力平台，为科技成果迈向产业化提供系统解决方案。

该研究院打造的东莞市新材料与智能制造中试及共性技术中试平台，是东莞首批中试平台重点培育建设单位之一，拥有总面积超过12000平方米的办公研发及实验室，并累计投入仪器设施2亿余元，其中包括透射电镜、扫描电镜、三坐标测量仪、工业CT、力学试验机、金属3D打印设备等配套于材料研发、制备、表征、检测评价、服役性能与寿命评价的专用仪器设备。

作为打通“最后一公里”的关键支点，CEAM中试平台服务能级不断提升。数据显示，截至目前，该平台已累计开展服务1000余项，覆盖企业和科研机构超过200家。

在成果转化方面，该研究院已建成先进材料科学园区，搭建起涵盖材料设计、制备工艺、缺陷检测、服役评估和3D打印服务的一体化技术平台，自主开发的增材制造高导热模具钢材料，以及结构完整性评价商用软件等成果实现落地转化，并成功孵化企业24家。