全国首台!国产化台阶仪在莞成功研制!

记者6月16日从松山湖材料实验室获悉,松山湖材料实验室精密仪器研发团队成功自研台阶仪,实现了国产化台阶仪零的突破,加速国产替代。

▲全国首台国产化台阶仪

据悉,台阶仪,又名探针式表面轮廓仪,用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量,是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学等领域不可缺少的关键测量设备。长期以来,此类仪器被美国Bruker、美国KLA、日本Kosaka三家厂商垄断,国内尚无厂商可提供同类产品。

“台阶仪的研发,需要‘四个超’:超精细的运动控制,超精密位移传感,超低噪声信号采集,超高平整度零部件等关键技术。”团队负责人许智指出,松山湖材料实验室精密仪器研发团队在这些领域均有丰富的经验积累和扎实的技术储备。而且,基于此前自主研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备技术,可以快速完成方案设计,并开始功能样机、工程样机的迭代开发。

据悉,该项目2020年12月内部立项,2021年5月,测试样品,2022年4月,样机进产线调试,2022年6月,正式机台投入使用。至此,国产化台阶仪迈出了里程碑式一步。

“关键测量仪器设备实现国产化,最关键之处就在于实现了自主可控。现已交付的台阶仪可满足企业实际使用的指标要求,且对比同类进口设备,成本降低了约30%。”许智表示。

▲精密仪器研发团队台阶仪项目组

值得一提的是,项目组研制了三种不同测试需求的型号,可供客户根据需要选择相应配置,并配套自研软件实时显示测量图表数据。目前,团队正在与十余家有相关需求的企业、科研院所洽谈合作中。

据悉,松山湖材料实验室精密仪器研发团队以自主知识产权的技术为核心,开展精密科研仪器和工业自动化设备的产业转化。其研发的桌面式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内唯一量产,等离子体化学气相沉积系统、扫描隧道显微镜系统等产品达到国际一流、国内领先水平。

“精密仪器研发团队以国家战略为导向,以市场需求为目标,力争成为有担当、有作为的尖端仪器产业化队伍。”许智表示。


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