在东莞大岭山镇的洁净车间里，工程师们正在研发调试多台真空镀膜设备，它们将应用于航空、半导体、核工业、工业模具与耐磨件、柔性薄膜等工业品领域，具体参与智能手机、摄像头、屏幕显示、汽车配件、航空玻璃、磁性材料、半导体电子传感器、精密光学元器件等产品的生产。这些设备的制造商——广东汇成真空科技股份有限公司（下称“汇成真空”），正是凭借对真空镀膜技术的深耕与突破，跻身于国内物理气相沉积设备领域第一梯队，并于2024年6月在深交所创业板上市，成为国内“以PVD设备为主营业务第一股”。

“进口依赖”到“国产替代”，技术突围打破海外垄断  

真空镀膜是一项在高度洁净环境（真空）下，通过物理或化学手段对材料表面直接沉积膜层的技术，广泛应用于消费电子、半导体、新能源等领域，业内称之具有“点石成金”的能力。

作为高端制造业的“基础工具”——真空镀膜设备长期以来被国外厂商垄断，国内高端设备进口依赖度非常高，尤其在半导体镀膜设备领域，国产化率不足15%。“近几十年来，国内真空镀膜设备从无到有，公司也参与了国产替代进程，近年来，我们常常在公司内部讲一句话”不卷国内的同行，只卷国外。”汇成真空董事长罗志明向记者说道。

2006年，汇成真空在东莞成立。成立公司前，罗志明和几位合伙人已经在真空镀膜行业工作多年。公司成立后，汇成真空不仅仅只卖设备，还为客户提供成套的工艺，帮助客户实现目标工艺，慢慢地得到了越来越多客户的认可。

在跟进服务的同时，汇成真空一直不忘技术研发，花大成本聘请国内资深专家组建研发团队，先后突破“非平衡磁控溅射”“电弧蒸发源”“磁控溅射靶设计”等多项核心技术，逐步形成覆盖蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等主流技术的设备体系。

以光学镀膜设备领域为例，国际龙头企业占领主要市场份额。我国在光学真空镀膜设备领域处于弱势，存在较大的短板。汇成真空的主导产品光学镀膜设备融合高能离子脉冲溅射、中频脉冲反应溅射、弧光放电增强多种技术组合并克服组合共镀时互相匹配技术，率先在镀膜设备中部分溅射靶应用高离化率高功率脉冲磁控溅射技术，克服了真空镀膜中对陶瓷、玻璃基材的膜基结合力技术难点，解决例如彩色、渐变色等多种颜色的真空镀膜技术。经过科技成果鉴定，专家一致认为，该产品的总体技术水平国内领先，在致密性、细晶化、耐磨耐蚀、颜色精准控制等方面达到了国际先进水平；在此领域，补齐了国内在高端磁控溅射光学镀膜设备领域的短板。 技术的突破更直接体现在专利布局上。截至2024年12月31日，汇成真空共拥有119项专利，其中发明专利41项，实用新型专利62项，外观设计专利16项，并获得软件著作权7项。公司参与制定了“中华人民共和国机械行业标准JB/T6922-2015真空蒸发镀膜设备”行业标准，参与“2020年中国科学院科技服务网络计划（STS）”“2020年国家重点研发计划‘制造基础技术与关键部件’”等项目，获得了两化融合管理、知识产权管理、质量管理、环境管理等体系认证证书。其“真空镀膜技术与装备重点实验室”被认定为东莞市重点实验室。这些技术成果不仅填补了国内空白，更使汇成真空成为少数能与国际巨头直接竞争的中国企业。

以“专精特新”为路径，构建“设备+工艺”双闭环生态  

凭借对真空镀膜技术的深耕与突破，汇成真空于2021年8月被工业和信息化部授予第三批国家级专精特新“小巨人”企业称号，是名副其实的真空镀膜设备领域的“隐形冠军”。

“公司成立近20年，中间确实有不少的‘诱惑’，可以改做其他行业，但还是坚持下来，因为我们的团队始终觉得这是一个值得深耕的领域。”罗志明说道。在罗志明看来，国内真空镀膜行业技术虽有长足进步，但国外厂商也在不断发展，他们始终有进步的空间。

成为“小巨人”的核心，在于“专精特新”的持续深耕。汇成真空的“专”，体现在对真空镀膜这一细分领域的极致聚焦——汇成真空成立近20年，始终围绕“真空应用解决方案”展开，产品线从最初的装饰涂层设备，逐步拓展至光学薄膜设备、半导体设备、动力电池设备等七大类，覆盖光伏玻璃镀膜、低辐射镀膜、芯片封装镀膜等高端场景。

“精”与“特”，则体现在对客户需求的深度服务与差异化创新上。汇成真空独创“设备+工艺”双闭环模式：一方面，通过设备销售扩大技术服务面，为客户提供工艺开发、运维支持及设备升级改造服务；另一方面，以技术服务反哺设备销售，根据客户反馈优化设备设计。

罗志明介绍说，“真空镀膜设备因为客户需求差异较大，其定制化程度是非常高的，如何更好地满足客户的精准需求是我们一直在努力的方向。”

为应对下游客户需求的不断变化，多年来，汇成真空在研发上持续发力，打造了一支技术全面、矢志创新的研发团队，并与西安交大、武汉理工等院校机构进行“产学研”深度合作，使公司具备强劲的产品创新及研发能力。

2024年6月，汇成真空在深交所创业板上市，标志企业从“技术型企业”向“平台型企业”的跃升。罗志明表示，公司将继续依托全球化视野与专业团队，深耕真空镀膜领域、以创新引领行业发展，推动中国在高端制造领域取得更大的新突破。